证券时报记者 王一鸣

全球“缺芯”背景下，为晶圆厂提供光刻设备的领先企业阿斯麦（ASML）在第四届进博会上的亮相颇受关注。

在本届进博会上，ASML选择用3D裸眼视频展示光刻机内部不同模块之间的基本原理；并带来了“铁三角”光刻全方位解决方案，即以先进控制能力的光刻机台，计算光刻和电子束量测，通过建模、仿真、分析等技术，不断提高边缘定位精度，持续赋能每一代芯片的制造，提高芯片生产的良率和产能。

ASML全球副总裁、中国区总裁沈波在接受证券时报·e公司记者专访时表示，今年是公司第三次参展，希望在进博会的平台上，让外界更直观地了解ASML；开放合作对构建复杂的半导体生态系统至关重要，是行业赖以生存和繁荣的基础，这与进博会主旨非常契合；作为产业链中的一员，ASML亦会继续秉承开放合作的精神去帮助客户、推动行业发展、创新。

继续扩产需解决

供应链瓶颈

总部位于荷兰的ASML，目前每年投入约22亿欧元用于技术研发，占年销售额比例约15%。公司在全球16个国家的60个城市设有办公室，员工超过29000，包括中国员工1000多名。

从行业情况来看，先进集成电路大规模生产线的投资可达100亿美元，75%以上是半导体设备投资，其中最关键、最大宗的设备是光刻机、等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备等。受益于全球缺芯背景下的扩产潮，下游晶圆厂对于光刻系统的需求仍在高点。

财报显示，第三季度ASML共出货79台光刻系统，总量比上个季度多出7台；同期实现净利润17亿欧元，较上一季度增长67.6%，净销售额52.41亿欧元，较上一季度增长30.4%，多项业绩数据均创下历史纪录。同时该公司完成累计出货1000台ArF浸润式光刻系统的里程碑。

面对旺盛的需求，沈波在谈及产能情况时介绍：“整个产业链正处于非常紧张的状态，在芯片制造设备供应商中，我们供货周期较长，这是由于光刻机相对复杂，并且客户对公司产品的需求相对更多。所以近年来公司扩产幅度在历史上前所未有，但扩产也面临了一定局限性。”

由于供应链长，ASML的扩产不可避免地面临供应链原材料短缺问题的影响，其中，扩产瓶颈之一是需要高度精密加工的光学镜片。

该镜片精度要求有多高？沈波举例，一款高精密的镜片大小约1平方米，但在测试时需将该镜片放大到接近德国国土面积大小，而其表面平整度的起伏不能超过1毫米；另一个相当的比方是，从地球上打一束光到月球，在月球表面的位置误差不能超过1元硬币大小。

超高精度要求使得相关零部件制造流程异常复杂，这意味着，ASML的扩产需要供应商的配套跟进，比如供应商扩做镜片的材料、设备都需要有一定周期。ASML光刻设备的供应链是半导体产业的缩影，开放合作是发展的基石，目前公司有着数千家供应商，光刻设备约85%的零部件是与供应链共同研发。

中国业务快速增长

正所谓牵一发而动全身。“所以，供应链任何一个环节出问题都可能波及这个产业链供给的状态。这其实也是整个芯片产业面临的挑战，而不仅仅是ASML单一公司面临的问题。”沈波认为。

芯片热还会持续多久？从半导体设备市场来看，国际半导体产业协会（SEMI）预测显示，2021年半导体设备市场将跃升至900亿美元，细分市场均实现20%以上的增长。随着电子产品需求的飙升，在数字化转型和其他长期技术趋势的推动下，2022年前端晶圆厂的全球半导体设备投资预计将达到近1000亿美元的新高。

按地区来看，2022年韩国的晶圆厂设备支出将达到300亿美元，其次是中国台湾的260亿美元和中国大陆的近170亿美元。

谈及中国大陆市场情况，沈波向记者介绍，市场增长得非常快，近年来，ASML每年发往中国大陆的光刻机台数约占总出货量的30%。

中国业务快速发展的背后离不开本地创新人才的聚集。事实上，ASML和中国的渊源由来已久，最早一台光刻机于1988年进入中国，2000年，ASML在天津正式成立了分公司。

目前，ASML已在中国设有14个办公室，11个仓储物流中心，2处开发中心，1个培训中心，共拥有1200多名员工，在中国大陆已为客户累计提供了近1000台装机。2021年，ASML开放了一百多个国内软硬件人才的职位，覆盖全方位光刻解决方案的各块业务。

在回应发货是否存在优先级这一问题时，沈波指出：“行业其实很透明，ASML在所有条件允许情况下，对全球客户一视同仁。在中国，总部给我们的目标是如何支持好中国的客户。半导体行业是全球化融合程度非常高的行业，帮助中国的半导体产业即是在帮助全球。另一方面，客户获得良好发展与ASML自身发展是相辅相成的。”